Modelagem Computacional de Reatores CVD para Filmes de Diamante

Os processos de deposição química a partir da fase vapor (CVD) do diamante são extremamente complexos. Devido a essa complexidade o desenvolvimento de reatores de CVD requer a utilização de modelagens computacionais adequados. Neste trabalho se encontra uma modelagem sofisticada de um reator CVD para crescimento de filmes de diamante e se desenvolve um protótipo de simulador computacional para ajudar na resolução das equações diferenciais encontradas. Também há dados sobre as espécies químicas envolvidas. Finalmente apresenta-se uma série de resultados de simulações.